工業(yè)測量顯微鏡又稱工具顯微鏡，廣泛應用于許多行業(yè);

　　特別是在電子行業(yè)，廣泛應用于電路板、液晶模塊、IC、光通信、模具五金、汽車工業(yè)、計量工業(yè)及其它領域;

　　將XYZ三軸精密光柵尺與XYZ三軸測量、超視線XY幾何測量相結合。

　　一步到位觀察、測量和處理。

　　工業(yè)化測量顯微鏡

　　工業(yè)化測量顯微鏡有折射光和透射光兩種照明方法。

　　不同的照明方式，不同的觀察圖像，因此需要根據不同的工件和測量位置，選擇最合適的照明方式。

　　折射光，透射光路圖

　　NO.1散射照明

　　★選擇通過輪廓光觀察的方法，特別是在觀察和測量輪廓時，邊緣清晰易觀察。

　　NO.2反射照明

　　★用于分析和測量表面特性的垂直直射測量工件的表面。

　　采用工業(yè)測量顯微鏡有四種觀察方法，即：明場觀察、暗場觀察、偏光觀察、微分干預。(DIC)觀察。

　　NO.1明場觀察

　　★在樣品表面垂直直射，適用于金屬、印刷電路板、IC、觀察液晶ITO淺孔表面。

　　NO.2暗場觀察

　　★通過觀察工件發(fā)出的散射光，可以觀察PCB油墨的顏色、灰塵、劃痕間隙、凹凸以及在明場下無法觀察到的低反射樣品。

　　NO.3偏光觀察

　　★對半導體材料、液晶、晶體、金屬組織、礦物、纖維等表面觀察有偏光特征的物質進行觀察。

　　NO.4微分干預(DIC)觀察

　　★使用DIC棱鏡將光源分成兩束，產生明暗度和對比度的變化，可以進行三維觀察。適用于觀察液晶模塊的壓焊顆粒、硅片的晶體缺陷、磁頭磨面的損壞檢測、金屬組織、礦石表面、涂層表面等。