數碼顯微鏡23個#電子材料7個#質量控制5個#DVM6#研究開發(fā)1個微電子和電子學的革新導致了樣品越來越小,傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn)。然而數碼顯微鏡不使用目鏡,而是用戶可直接通過顯示器進行觀察的特點,讓微電子的觀察效率有了很大的提高。
控制(QC/QA)或開發(fā)(R&D)時,一些微電子器件的生產,如硬盤驅動器,要求對其各個部件進行檢查和質量控制,全尺寸:從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm)->微觀尺度(1000μm~500nm)->納米尺度(<500nm)。需要使用數碼顯微鏡對零件快速進行大視野成像,以及精準的尺寸計量。從而滿足更快的改進制作規(guī)范以及生產需求,優(yōu)化整個工作流程。使用徠卡DVM6數碼顯微鏡的以下性能,可快速得出檢查的可靠結果。本報告的重點將是大視野、測量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。
自動跟蹤和存儲的可重復,顯微鏡最重要的硬件參數可記憶(編碼),例如,使用的倍數,照明和相機設置等參數條件可快速重現(xiàn);
超大變焦范圍16:1,鏡頭切換支持熱插拔;
二維尺寸測量及三維尺寸測量
快速角度旋轉,傾斜角度不同視角觀察樣品;
集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光,具有多方向的照明模式;
數字快照和數字10MP的數碼相機,高畫質成像;
XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能,可拍攝大范圍大景深的圖像;
DVM6數碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察,例如在電子零件領域用于測量硬盤驅動器上零件通孔的直徑、周長和深度分布,以及焊點的長度、面積和高度分布。