電子顯微鏡是目前應(yīng)用最廣泛的顯微鏡。它可以將小物體放大到2000倍，通過電子顯微鏡可以清晰地觀察到金屬原子的結(jié)構(gòu)，甚至半導(dǎo)體原子的整體排列。電子顯微鏡是一種非常美妙的儀器。電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)是什么?讓我們來介紹一下。

　　電子顯微鏡結(jié)構(gòu)：

　　電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

　　鏡筒主要有電子源、電子鏡片、樣品架、顯示屏、探測器等部件，這些部件一般由上到下組裝成一個(gè)柱體。

　　電子透鏡用于聚焦電子，是電子顯微鏡最重要的部分。通常使用磁性透鏡，有時(shí)使用靜電透鏡。它使用一個(gè)對(duì)稱的空間電場或磁場，使電子軌跡彎曲到軸上，與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡(凸透鏡)相同，因此被稱為電子透鏡。光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的，電子透鏡的焦點(diǎn)可以調(diào)整，因此電子顯微鏡不能像光學(xué)顯微鏡那樣移動(dòng)透鏡系統(tǒng)。

　　現(xiàn)代電子顯微鏡主要使用電磁透鏡，通過非常穩(wěn)定的直流勵(lì)磁電流通過極靴線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場對(duì)電子進(jìn)行聚焦。電子源是一個(gè)負(fù)極，一個(gè)釋放自由電荷的網(wǎng)格，一個(gè)環(huán)加速電子的陽極。陰極和陽極之間的電壓差必須非常高，通常在數(shù)千伏到300萬伏之間。它可以發(fā)射和形成一個(gè)均勻的電子束，因此加速電壓的穩(wěn)定性要求不小于萬分之一。

　　樣品可以穩(wěn)定地放置在樣品架上，此外，通常還有一些裝置可以用來改變樣品(如移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、加熱、降溫、拉長等)。探測器用于收集電子信號(hào)或二次信號(hào)。真空裝置用于確保顯微鏡中的真空狀態(tài)，使電子不會(huì)被其路徑吸收或偏轉(zhuǎn)由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥組成，并通過排氣管與鏡筒連接。

　　電源柜由高壓發(fā)電機(jī)、勵(lì)磁電流穩(wěn)定器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

　　以上內(nèi)容是對(duì)電子顯微鏡結(jié)構(gòu)的介紹。電子顯微鏡根據(jù)其結(jié)構(gòu)和用途可分為散射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、反射電子顯微鏡和發(fā)射電子顯微鏡。散射電子顯微鏡常用于觀察普通顯微鏡無法區(qū)分的小物質(zhì)結(jié)構(gòu);掃描電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形狀，也可與X射線衍射儀或電子能譜儀結(jié)合形成物質(zhì)成分分析的電子微探頭;發(fā)射電子顯微鏡用于研究發(fā)射電子表面。