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ZZJ-1112R系列半導(dǎo)體PFD檢測(cè)金相顯微鏡

產(chǎn)品詳情

ZZJ-1112R系列半導(dǎo)體FPD檢測(cè)金相顯微鏡

一、 儀器概述:

全新的ZZJ-1112R半導(dǎo)體 \FPD 檢查顯微鏡,最大支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 46、812英寸多種轉(zhuǎn)盤(pán),可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升,為用戶(hù)提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。

光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀(guān)察方式

明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC

觀(guān)察筒

無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀(guān)察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比 100:0 或 0:100

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃版

物鏡

無(wú)限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X

無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相 DIC 物鏡 20X

無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡 50X 100X

轉(zhuǎn)換器

明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器,帶 DIC 插槽

機(jī)架組

反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

透反機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm,微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

載物臺(tái)

右手位 14×12 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺(tái)面積 718mmX420mm,移動(dòng)范圍 :356mmX305mm

帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ;玻璃載物臺(tái)板 ( 反射用)

電動(dòng)平臺(tái)

面積 495mmX641mm,移動(dòng)范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動(dòng),重復(fù)定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺(tái)

照明系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變電動(dòng)孔徑光闌,視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像附件

0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組 ;高精度測(cè)微尺 ;DIC 組件

 


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